Получение методом AACVD двухслойных тонкопленочных нанокомпозитов ZnO/Cr₂O₃ для хеморезистивных газовых сенсоров
- Авторы: Мокрушин А.С.1, Дмитриева С.А.1,2, Горбань Ю.М.1,2, Стройкова А.Р.1,2, Симоненко Н.П.1, Аверин А.А.3, Симоненко Е.П.1
-
Учреждения:
- Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН
- Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева
- Институт физической химии и электрохимии им. А.Н. Фрумкина РАН
- Выпуск: Том 70, № 4 (2025)
- Страницы: 606-614
- Раздел: НЕОРГАНИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ И НАНОМАТЕРИАЛЫ
- URL: https://cijournal.ru/0044-457X/article/view/687079
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0044457X25040147
- EDN: https://elibrary.ru/HPKLWZ
- ID: 687079
Цитировать
Аннотация
В результате аэрозольного осаждения из газовой фазы (AACVD) получены двухслойные тонкопленочные нанокомпозиты ZnO/Cr₂O₃ и исследованы различными методами физико-химического анализа. С помощью ТГА/ДСК изучено термическое поведение прекурсоров – ацетилацетонатов цинка и хрома. Химический состав полученных покрытий подтвержден методом EDX, физический – методами рентгеновской дифракции и КР-спектроскопии. Микроструктурные особенности изучены с помощью СЭМ. Установлено, что варьирование концентрации прекурсора позволяет изменять морфологию получаемых покрытий от островковой структуры до сплошной пленки. Показано, что двухслойные пленки ZnO/Cr₂O₃ демонстрируют заметный хеморезистивный отклик при детектировании ацетона.
Ключевые слова
Полный текст

Об авторах
А. С. Мокрушин
Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН
Автор, ответственный за переписку.
Email: artyom.nano@gmail.com
Россия, Ленинский пр-т, 31, Москва, 119991
С. А. Дмитриева
Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН; Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева
Email: artyom.nano@gmail.com
Россия, Ленинский пр-т, 31, Москва, 119991; Миусская пл., 9, Москва, 125047
Ю. М. Горбань
Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН; Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева
Email: artyom.nano@gmail.com
Россия, Ленинский пр-т, 31, Москва, 119991; Миусская пл., 9, Москва, 125047
А. Р. Стройкова
Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН; Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева
Email: artyom.nano@gmail.com
Россия, Ленинский пр-т, 31, Москва, 119991; Миусская пл., 9, Москва, 125047
Н. П. Симоненко
Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН
Email: artyom.nano@gmail.com
Россия, Ленинский пр-т, 31, Москва, 119991
А. А. Аверин
Институт физической химии и электрохимии им. А.Н. Фрумкина РАН
Email: artyom.nano@gmail.com
Россия, Ленинский пр-т, 31, Москва, 119071
Е. П. Симоненко
Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова РАН
Email: artyom.nano@gmail.com
Россия, Ленинский пр-т, 31, Москва, 119991
Список литературы
- Damianos D., Mouly J., Delbos P. Status of the MEMS industry 2021 //“Status of the MEMS industry” Yole development. – 2021.
- Deng Y. // Semiconducting Metal Oxides for Gas Sensing. Elsеvier, 2019. https://doi.org/10.1007/978-981-13-5853-1
- Seiyama T., Kagawa S. // Anal. Chem. 1966. V. 38. № 8. P. 1069.https://doi.org/10.1021/ac60240a031
- Abegunde O.O., Akinlabi E.T., Oladijo O.P. et al. // AIMS Mater. Sci. 2019. V. 6. № 2. P. 174.https://doi.org/10.3934/matersci.2019.2.174
- Sun L., Yuan G., Gao L. et al. // Nature Rev. Methods Primers. 2021. V. 1. № 1.https://doi.org/10.1038/s43586-020-00005-y
- Kuzminykh Y., Dabirian A., Reinke M. et al. // Surf. Coat. Technol. 2013. V. 230. P. 13.https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.06.059
- Hou X., Choy K.L. // Chem. Vap. Deposition. 2006. V. 12. № 10. P. 583.https://doi.org/10.1002/cvde.200600033
- Jeong S.Y., Kim J.S., Lee J.H. // Adv. Mater. 2020. V. 32. № 51. P. 2002075.https://doi.org/10.1002/adma.202002075
- Ahmad R., Majhi S.M., Zhang X. et al. // Adv. Colloid Interface Sci. 2019. V. 270. P. 1.https://doi.org/10.1016/j.cis.2019.05.006
- Mokrushin A.S., Nagornov I.A., Gorban Y.M. et al. // J. Alloys Compd. 2024. V. 1009. P. 176856.https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2024.176856
- Mokrushin A.S., Nagornov I.A., Gorban Y.M. et al. // Ceram. Int. 2023. V. 49. № 11. Part A. P. 17600.https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2023.02.126
- Sinha M., Neogi S., Mahapatra R. et al. // Sens. Actuators, B: Chem. 2021. V. 336. P. 129729.https://doi.org/10.1016/j.snb.2021.129729
- Mokrushin A.S., Gorban Y.M., Averin A.A. et al. // Biosensors. 2023. V. 13. № 445. P. 1.https://doi.org/10.3390/bios13040445
- Mokrushin A.S., Gorban Y.M., Averin A.A. et al. // Ceram. Int. 2024. V. 50. № 6. P. 8777.https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2023.12.194
- Simonenko E.P., Nagornov I.A., Mokrushin A.S. et al. // Micromachines. 2023. V. 14. № 725. P. 1.https://doi.org/10.3390/mi14040725
- Woo H.S., Na C.W., Kim I.D. et al. // Nanotechnology. 2012. V. 23. № 24. P. 245501.https://doi.org/10.1088/0957-4484/23/24/245501
- Jayababu N., Poloju M., Reddy M.V.R. // AIP Conf. Proc. 2019. V. 2082. № March. P. 3.https://doi.org/10.1063/1.5093843
- Park S., Sun G.J., Jin C. et al. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2016. V. 8. № 4. P. 2805.https://doi.org/10.1021/acsami.5b11485
- Najafi V., Zolghadr S., Kimiagar S. // Optik. 2019. V. 182. P. 249.https://doi.org/10.1016/j.ijleo.2019.01.015
- Wang T. yang, Li Y. yuan, Li T. tian et al. // Solid State Ionics. 2018. V. 326. P. 173.https://doi.org/10.1016/j.ssi.2018.10.006
- Kamalianfar A., Naseri M.G., Jahromi S.P. // Chem. Phys. Lett. 2019. V. 732. P. 136648.https://doi.org/10.1016/j.cplett.2019.136648
- Selvaraj B., Karnam J.B., Rayappan J.B.B. // Ceram. Int. 2023. V. 49. № 23. P. 37106.https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2023.08.308
- Al-Hardan N.H., Abdullah M.J., Aziz A.A. // Appl. Surf. Sci. 2013. V. 270. P. 480.https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2013.01.064
- Abdul Kareem S.M., Suhail M.H., Adehmash I.K. // Iraqi J. Sci. 2021. V. 62. № 7. P. 2176.https://doi.org/10.24996/ijs.2021.62.7.7
- Vallejos S., Pizúrová N., Gràcia I. et al. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2016. V. 8. № 48. P. 33335.https://doi.org/10.1021/acsami.6b12992
- Roy A., Sood A.K. // Pramana: J. Phys. 1995. V. 44. № 3. P. 201.https://doi.org/10.1007/BF02848471
- Šćepanović M., Grujić-Brojčin M., Vojisavljević K. et al. // J. Raman Spectroscopy. 2010. V. 41. № 9. P. 914.https://doi.org/10.1002/jrs.2546
- Gomes A.S.O., Yaghini N., Martinelli A. et al. // J. Raman Spectroscopy. 2017. V. 48. № 10. P. 1256.https://doi.org/10.1002/jrs.5198
- Chen M., Wang Z., Han D. et al. // J. Phys. Chem. C. 2011. V. 115. № 26. P. 12763.https://doi.org/10.1021/jp201816d
Дополнительные файлы
