Email this article Измерение температуры по сдвигу полос интерференции в микроинтерферометре Фабри–Перo на основе кремниевой пластины
- Authors: Potapov V.T.1, Zhamaletdinov N.M.1, Moiseev V.V.1
-
Affiliations:
- Fryazin Branch of the Institute of Radio Engineering and Electronics named after V.A. Kotelnikov
- Issue: No 2 (2025)
- Pages: 131-135
- Section: ОБЩАЯ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ТЕХНИКА
- URL: https://cijournal.ru/0032-8162/article/view/690631
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0032816225020164
- EDN: https://elibrary.ru/glbbvr
- ID: 690631
Cite item
Open Access
Access granted
Subscription or Fee Access
Abstract
Описан волоконно-оптический датчик температуры с чувствительным элементом на основе кремниевого микроинтерферометра Фабри–Перо, температура которого измеряется по сдвигу интерференционных полос вследствие зависимости коэффициента преломления кремния от температуры. Интерферометр Фабри–Перо представляет собой кремниевую пластину размерами 500×500 мкм2 толщиной 20 мкм, расположенную на торце одномодового волокна. Коэффициент преобразования такого интерферометра равняется примерно 1 нВт / °С при чувствительности порядка 5 · 10–3 °С.
About the authors
V. T. Potapov
Fryazin Branch of the Institute of Radio Engineering and Electronics named after V.A. Kotelnikov
Email: v_potapov38@mail.ru
Russia, 141190, Fryazino, Moscow Region, Vvedensky Square, 1
N. M. Zhamaletdinov
Fryazin Branch of the Institute of Radio Engineering and Electronics named after V.A. Kotelnikov
Email: v_potapov38@mail.ru
Russia, 141190, Fryazino, Moscow Region, Vvedensky Square, 1
V. V. Moiseev
Fryazin Branch of the Institute of Radio Engineering and Electronics named after V.A. Kotelnikov
Author for correspondence.
Email: mvv_8824@live.ru
Russia, 141190, Fryazino, Moscow Region, Vvedensky Square, 1
References
- Егоров Ф.А., Неугодников А.П., Потапов В.Т., Поспелов И.И. // Датчики и системы. 2006. № 6. С. 20.
- Kyuma K., Tai Sh., Sawada T., Nunoshita M. // IEEE J. Quantum Electronics. 1982. V. 18. P. 676.
- Fukano H., Ooshima K. // Jpn. J. Appl. Phys. 2024. V. 63. P. 1. https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad3d68
- Jiahua Yang, Biao Yin, Xiaopeng Dong, Weixiong Huang, Yi Zou // J. Light. Technol. 2022. V. 40. № 16. P. 5729. https://doi.org/10.1109/JLT.2022.3181626
- Потапов В.Т., Жамалетдинов Н.М. // ПТЭ. 2022. № 3. С. 77.
- Schultheis L., Amstutz H., Kaufmann M. // Opt. Lett. 1988. V. 13. № 9. P. 782. https://doi.org/10.1364/OL.13.000782
- Berthold J.W., Reed S.E., Sarkis R.G. // Opt. Eng. 1991. V. 30. № 5. P. 524. https://doi.org/10.1117/12.55838
- https://kingfisher.com.au/ media/2314/7600-rs232-brochure.pdf
- https://nolatech.ru / files / datasheets / ru / DFB-1550-14BF.pdf
- http://en.kyphotonics.com / prod_view.aspx?TypeId= 142&Id= 183&FId=t3:142:3
Supplementary files
