Измерение температуры по сдвигу полос интерференции в микроинтерферометре Фабри–Перo на основе кремниевой пластины

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Описан волоконно-оптический датчик температуры с чувствительным элементом на основе кремниевого микроинтерферометра Фабри–Перо, температура которого измеряется по сдвигу интерференционных полос вследствие зависимости коэффициента преломления кремния от температуры. Интерферометр Фабри–Перо представляет собой кремниевую пластину размерами 500×500 мкм2 толщиной 20 мкм, расположенную на торце одномодового волокна. Коэффициент преобразования такого интерферометра равняется примерно 1 нВт / °С при чувствительности порядка 5 · 10–3 °С.

Об авторах

В. Т. Потапов

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова

Email: v_potapov38@mail.ru
Россия, 141190, Фрязино, Московская обл., пл. Введенского, 1

Н. М. Жамалетдинов

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова

Email: v_potapov38@mail.ru
Россия, 141190, Фрязино, Московская обл., пл. Введенского, 1

В. В. Моисеев

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова

Автор, ответственный за переписку.
Email: mvv_8824@live.ru
Россия, 141190, Фрязино, Московская обл., пл. Введенского, 1

Список литературы

  1. Егоров Ф.А., Неугодников А.П., Потапов В.Т., Поспелов И.И. // Датчики и системы. 2006. № 6. С. 20.
  2. Kyuma K., Tai Sh., Sawada T., Nunoshita M. // IEEE J. Quantum Electronics. 1982. V. 18. P. 676.
  3. Fukano H., Ooshima K. // Jpn. J. Appl. Phys. 2024. V. 63. P. 1. https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad3d68
  4. Jiahua Yang, Biao Yin, Xiaopeng Dong, Weixiong Huang, Yi Zou // J. Light. Technol. 2022. V. 40. № 16. P. 5729. https://doi.org/10.1109/JLT.2022.3181626
  5. Потапов В.Т., Жамалетдинов Н.М. // ПТЭ. 2022. № 3. С. 77.
  6. Schultheis L., Amstutz H., Kaufmann M. // Opt. Lett. 1988. V. 13. № 9. P. 782. https://doi.org/10.1364/OL.13.000782
  7. Berthold J.W., Reed S.E., Sarkis R.G. // Opt. Eng. 1991. V. 30. № 5. P. 524. https://doi.org/10.1117/12.55838
  8. https://kingfisher.com.au/ media/2314/7600-rs232-brochure.pdf
  9. https://nolatech.ru / files / datasheets / ru / DFB-1550-14BF.pdf
  10. http://en.kyphotonics.com / prod_view.aspx?TypeId= 142&Id= 183&FId=t3:142:3

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2025