Отправить статью по E-mail 
Диагностика сильноточного нераспыляющего магнетронного разряда в водороде
- Авторы: Казиев А.В.1,2, Колодко Д.В.1,2,3, Сазонов Н.С.1, Харьков М.М.1, Тумаркин А.В.1
-
Учреждения:
- Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
- Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН
- Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
- Выпуск: Том 69, № 11 (2024)
- Страницы: 1095-1098
- Раздел: Статьи
- URL: https://cijournal.ru/0033-8494/article/view/684287
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0033849424110078
- EDN: https://elibrary.ru/HOFBOQ
- ID: 684287
Цитировать
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Только для подписчиков
Аннотация
Проведены эксперименты по диагностике плазмы нераспыляющего разряда миллисекундной длительности в водороде при давлении ~ 1 Торр, длительности и максимальной мощности импульса соответственно около 1 мс и 80 кВт. Показано, что применение импульсных нераспыляющих режимов магнетронного разряда в легких газах позволяет получать плотную неконтрагированную плазму при отсутствии в спектрах оптического излучения линий, соответствующих частицам материала катода или анода.
Об авторах
А. В. Казиев
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»; Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН
Автор, ответственный за переписку.
Email: kaziev@plasma.mephi.ru
Россия, Каширское шоссе, 31, Москва, 115409; Ленинский просп., 53, Москва, 119991
Д. В. Колодко
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»; Физический институт им. П.Н. Лебедева РАН; Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Email: kaziev@plasma.mephi.ru
Россия, Каширское шоссе, 31, Москва, 115409; Ленинский просп., 53, Москва, 119991; пл. Введенского, 1, Фрязино, Московская обл., 141190
Н. С. Сазонов
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
Email: kaziev@plasma.mephi.ru
Россия, Каширское шоссе, 31, Москва, 115409
М. М. Харьков
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
Email: kaziev@plasma.mephi.ru
Россия, Каширское шоссе, 31, Москва, 115409
А. В. Тумаркин
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
Email: kaziev@plasma.mephi.ru
Россия, Каширское шоссе, 31, Москва, 115409
Список литературы
- Мозгрин Д. В., Ходаченко Г. В., Фетисов И. К.// Физика плазмы. 1995. Т. 21. № 5. P. 422.
- Gudmundsson J. T., Brenning N., Lundin D., Helmersson U. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2012. V. 30. № 3. P. 030801.
- Ходаченко Г. В., Мозгрин Д. В., Фетисов И. К., Степанова Т. В.// Физика плазмы. 2012. Т. 38. № 1. С. 71.
- Kaziev A. V. // Vacuum. 2018. V. 158. P. 191.
- Sommerer T. J., Aceto S. C., Trotter J. F. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2019. V. 52. № 43. P. 435202.
- Smith D. J., Sommerer T. J., Lawler J. E., Hitchon W. N. G. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2021. V. 54. № 29. P. 295201.
- Levko D., Raja L. L. // J. Appl. Phys. 2022. V. 132. № 24. P. 243301.
Дополнительные файлы
