Электростатическая линза для коррекции пучка ионов магнетронного источника

А. А. Терентьев; Терентьев А. А.

doi:10.31857/S0032816224020114

Электростатическая линза для коррекции пучка ионов магнетронного источника

Авторы: Терентьев А.А.¹
Учреждения:
1. Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”
Выпуск: № 2 (2024)
Страницы: 93–95
Раздел: ОБЩАЯ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ТЕХНИКА
URL: https://cijournal.ru/0032-8162/article/view/670202
DOI: https://doi.org/10.31857/S0032816224020114
EDN: https://elibrary.ru/QSNDBV
ID: 670202

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация
Полный текст
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Описаны принципиальная схема и конструкция электростатической линзы для коррекции и дополнительной фокусировки пучка, выходящего из источника ионов магнетронного типа. Представлен чертеж такой линзы.

Полный текст

Об авторах

А. А. Терентьев

Национальный исследовательский центр “Курчатовский институт”

Автор, ответственный за переписку.
Email: Terentev_AA@nrcki.ru
Россия, 123098, Москва, пл. Академика Курчатова, 1

Список литературы

Computer code SIMION 3D Version 7.0 Sci. Instrum. Services, Ringoes, NJ 08551, USA.

Дополнительные файлы

Доп. файлы

Действие

1. JATS XML

Скачать

2. Рис. 1. Отклонение ионного пучка в магнетронном источнике в горизонтальной плоскости: 1 — газоразрядная камера, 2 — магнитное поле, 3 — нить накала (катод), 4 — выходная щель, 5 — корпус источника (анод), 6 — входной патрубок установки, 7 — ионный пучок.