Issue |
Section |
Title |
File |
Vol 68, No 10 (2023) |
ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
В ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРАХ |
Flow of high-energy positive oxygen ions from plasma onto the substrate in a pulsed magnetron discharge with a hot target. |
|
Vol 69, No 5 (2024) |
НАНОЭЛЕКТРОНИКА |
Nonlinearity of current-voltage characterustics of diamond-like carbon thin films with nikel impurity |
|
Vol 68, No 11 (2023) |
НАНОЭЛЕКТРОНИКА |
Получение пленок оксида кремния методом импульсного магнетронного осаждения с горячей мишенью в реакционной среде |
|
Vol 69, No 11 (2024) |
Articles |
Diagnostics of a high-current non-sputtering magnetron discharge in hydrogen |
|
Vol 69, No 10 (2024) |
НАНОЭЛЕКТРОНИКА |
On iron-doped diamond-like films produced in a hollow cathode discharge |
|